带驻留时间约束及清洗工艺的晶圆制造设备调度研究

镇璐, 张晓琴, 阳罚军

Scheduling study for time-constrained wafer fabrication equipments with chamber cleaning operations

ZHEN Lu, ZHANG Xiaoqin, YANG Fajun

系统工程理论与实践 . 2023, (8): 2395 -2411 . DOI: 10.12011/SETP2022-2338