带驻留时间约束及清洗工艺的晶圆制造设备调度研究

镇璐, 张晓琴, 阳罚军

系统工程理论与实践 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (8) : 2395-2411.

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系统工程理论与实践 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (8) : 2395-2411. DOI: 10.12011/SETP2022-2338
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带驻留时间约束及清洗工艺的晶圆制造设备调度研究

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Scheduling study for time-constrained wafer fabrication equipments with chamber cleaning operations

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