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半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析
白丽平;伍乃骐
Performance Analysis of Cluster Tool with Non-Revisiting in Semiconductor Manufacturing
Li Ping BAI;Nai Qi WU
系统工程理论与实践 . 2005, (6): 11 -18 .  DOI: 10.12011/1000-6788(2005)6-11