半导体设备预防性维护建模与优化方法研究

敖银辉, 常鹏

系统工程理论与实践 ›› 2017, Vol. 37 ›› Issue (3) : 782-789.

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中国科学院数学与系统科学研究院期刊网
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系统工程理论与实践 ›› 2017, Vol. 37 ›› Issue (3) : 782-789. DOI: 10.12011/1000-6788(2017)03-0782-08
论文

半导体设备预防性维护建模与优化方法研究

    敖银辉, 常鹏
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Research on preventive maintenance modeling method of semiconductor devices

    AO Yinhui, CHANG Peng
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