半导体制造系统改进Petri网模型的建立及优化调度

苏国军, 汪雄海

系统工程理论与实践 ›› 2011, Vol. 31 ›› Issue (7) : 1372-1377.

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系统工程理论与实践 ›› 2011, Vol. 31 ›› Issue (7) : 1372-1377. DOI: 10.12011/1000-6788(2011)7-1372
论文

半导体制造系统改进Petri网模型的建立及优化调度

    苏国军, 汪雄海
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Optimal scheduling of semiconductor manufacture system based on improved Petri net model

    SU Guo-jun, WANG Xiong-hai
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